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| Class | Purpose | UPW Process |
|---|---|---|
| 순수 | Boiler 용수, 제조용수, 제약용수 | 1. 전처리 공정 (Pre-Treatment System) |
| 고순수 | 고압 Boiler, 제약용수(주사제 세척수), 전자용수 | 2. 1차 순수 제조공정(Make-up System) |
| 초순수 | 반도체 제조용수, 초고압 Boiler 공급수 | 3. 초순수 제조공정(Polishing System) |
| 4. 재활용수 제조공정(Recovery System) | ||
 |
Suspended Solid |
Ions | Particles | Micro- Organism |
Organism Matter |
CO₂ | O₂ | Colloidal Matter |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Flocculator (Clarifier) |
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| Sand Filter | * * | - | * | - | - | - | - | - |
| Activated Carbon Filter | - | - | - | - | * * | - | - | - |
| Cartridge Filter (1∼5㎛) |
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| Reverse Osmosis | - | * * * | * * * * | * * * * | * * * | - | - | * * * * |
| Degasifier | - | - | - | - | - | * * * | - | - |
| Vacuum Degasifier (or Membrane Type) |
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| Deionizer (Ion Exchange Resin or EDI System) |
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| UV Sterilizer | - | - | - | * * * * | * * * (Decompose) |
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| UV Oxidizer | - | - | - | - | - | - | - | - |
| MF Membrane Filter | - | - | * * * * | * * * * | - | - | - | - |
| Ultra Filter | - | - | * * * * | * * * * | - | - | - | * * * * |
| Effectiveness : * Fair, ** Good, *** Better, **** Excellent | ||||||||
