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초순수공정

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Class Purpose UPW Process
순수 Boiler 용수, 제조용수, 제약용수 1. 전처리 공정 (Pre-Treatment System)
고순수 고압 Boiler, 제약용수(주사제 세척수), 전자용수 2. 1차 순수 제조공정(Make-up System)
초순수 반도체 제조용수, 초고압 Boiler 공급수 3. 초순수 제조공정(Polishing System)
    4. 재활용수 제조공정(Recovery System)

Suspended
Solid
Ions Particles Micro-
Organism
Organism
Matter
CO₂ O₂ Colloidal
Matter
Flocculator
(Clarifier)
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Sand Filter * * - * - - - - -
Activated Carbon Filter - - - - * * - - -
Cartridge Filter
(1∼5㎛)
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Reverse Osmosis - * * * * * * * * * * * * * * - - * * * *
Degasifier - - - - - * * * - -
Vacuum Degasifier
(or Membrane Type)
- - - - - * * * * * * * * -
Deionizer
(Ion Exchange Resin
or EDI System)
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UV Sterilizer - - - * * * * * * *
(Decompose)
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UV Oxidizer - - - - - - - -
MF Membrane Filter - - * * * * * * * * - - - -
Ultra Filter - - * * * * * * * * - - - * * * *
Effectiveness : * Fair, ** Good, *** Better, **** Excellent

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